2025年11月14日，湖南高新纵横资产经营有限公司高创鑫阳基金所投深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称恒运昌）的首发上市申请，获上海证券交易所上市委员会审议通过.

恒运昌作为国内等离子体射频电源系统领域的龙头企业，产品广泛应用于半导体、光伏、显示面板等国家战略性新兴产业。该公司已成为国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业之一。

等离子体射频电源系统技术壁垒高、研发投入大、周期长，对生产过程的“精确复制”能力要求极高，导致该领域长期依赖进口，国产化率处于低位。据弗若斯特沙利文数据，2024年中国大陆在半导体用等离子体射频电源系统方面的国产化率低于12%，属于关键技术环节中“卡脖子”问题较为突出的领域之一。

恒运昌历经十余年持续技术攻关，相继推出CSL、Bestda和Aspen三代产品系列，逐步打破美国企业MKS和AE在国内市场数十年的垄断局面。其中，第二代Bestda系列产品可支持28纳米制程，第三代Aspen系列更可适配7-14纳米先进制程，整体技术达到国际先进水平，有效填补了国内相关领域的技术空白。

随着本次成功过会，恒运昌将借助资本市场进一步强化研发与产能布局，助力我国半导体关键设备自主可控进程加速推进。

作者：陈植雄

一审：汤   璞

二审：龙朝霞

三审：章   涛